US /'toʊrɔɪdəl/
・UK /'tɔ:rɔɪdl/
và hình dạng của vành được gọi là hình xuyến.
Và vì vậy lặp lại những gì tôi đã nói trước đó, chúng ta có một plasma hình xuyến dày đặc ở trung tâm lan ra wafer, và có một số lợi thế của chế độ ICP hoặc HDP so với chế độ CCP, đó là chúng ta có thể hoạt động ở áp suất thấp hơn, và chúng ta có sự tách